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工
作
臺
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型 號
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VMS-1510G/VMS-1510F
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VMS-2010G/VMS-2010F
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VMS-2515G/VMS-2515F
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VMS-3020G/VMS-3020F
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金屬臺尺寸(mm)
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354×228
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404×228
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450×280
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500×330
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運動行程(mm)
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150×100
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200×100
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250×150
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300×200
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Z軸升降行程（mm）
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200（特殊訂購達400）
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截面原點一致性誤差(μm)
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G型：E0≤30（Z軸升降行程每100mm）; F型：E0≤20（Z軸升降行程每100mm）
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X、Y、Z數顯分辨力：0.5μm X、Y坐標示值誤差：（2.5+L/100）μm(L為被測長度，單位：mm)
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影
像
系
統
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F型
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G型
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1/2”彩色CCD攝像機
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1/3”彩色CCD攝像機
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變倍鏡頭倍率：0.7X~4.5X
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變倍鏡頭倍率：0.7X~4.5X
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視頻倍率：20~128X
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視頻倍率：26.6~171X
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物方視場：11.1mm~1.7m
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物方視場：8.1mm~1.3m
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表面光源與透射光源均用LED，亮度可調
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